Depósito de películas delgadas
- Sistema de Erosión Catódica Marca Intercovamex, modelo V3 , con bombas mecánica y turbomolecular, 2 cañones RF y 1 DC, sistema de temperatura de sustrato hasta 700 ºC y medidor de espesor.
Caracterización de Materiales
- Microscopio Electrónico de Barrido de Emisión de Campo. Marca JEOL, modelo jsm-7600f, resolución máxima de 0.8 nm garantizados a 30 kV, 1.5 nm garantizados a 1.0 kV y 5 nm garantizados a 0.1 kV. Detector de electrones retrodispersados y secundarios y microanális EDS.
- Difractometro de Rayos X. marca Bruker, modelo d8 Advance.
- Microscopio Raman. marca ThermoScientific, modelo DXR, equipado con laser de 532 nm, 4 objetivos de microscopio de 10, 20, 50 y 100x.
- Sistema de espectroscopia óptica. Se cuenta con 1 Monocromador con resolución de 0.02 nm, para el rango de 200 nm – 3000 nm, 3 Láseres de estado sólido (375, 532 y 633 nm), 1 lámpara de tungsteno halógeno –deuterio, Detectores de estado solido, 1 Medidor de potencia y amplificador Lock-in. Es posible realizar mediciones de fotorreflectancia y fotoluminiscencia.
- Sistema de espectroscopía de reflexión y transmisión. Sistema de espectroscopía de fibra óptica UV-VIS-NIR, Marca: Semiconsoft, Modelo: M-Probe, rango espectral de 200-2200 nm, Software: TFCompanion-R, con control integrado y adquisición de datos para analizar películas delgadas.
Sistema para mediciones de transmición y reflexción óptica en la región UV-VIS
- Sistema criogénico para mediciones electromagnéticas. Marca Cryo Industries, magneto superconductor de 9 T, temperaturas de hasta 2 K, con ventana óptica.
